期刊文章详细信息
TFT-LCD生产中毛刷清洗工艺的研究
Brush Cleaning Process Analysis in TFT-LCD Industry
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京京东方光电科技有限公司,北京100176
年 份：2007
期 号：10
起止页码：54-56
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：以玻璃基板表面残留的各种微粒(Particles)的去除率为依据,研究TFT-LCD生产清洗工艺中毛刷的旋转方向、旋转速度和毛刷相对玻璃的压入量等因素对玻璃基板表面particles清洗效果的影响,探讨这些因素的作用机理,为TFT-LCD生产以提供最佳的清洗工艺方法。
关 键 词：TFT-LCD 清洗 毛刷 Particle去除率
分 类 号：TN949.192]
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