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GaAs半导体激光器腔面高反射涂层的研究 ( EI收录)
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]长春光学精密机械学院光电子一系 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所
年 份：1997
卷 号：5
期 号：3
起止页码：12-15
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：通过对ＧａＡｓ激光器谐振腔后腔面蒸镀ＳｉＯ、Ａｕ高反射膜工艺过程，分析涂层特性。反射率由无膜时的３２％，提高到９４％以上，保护了器件端面，降低阈值电流，提高激光输出功率和工作寿命。
关 键 词：激光器 谐振腔 高反射膜 砷化镓 半导体激光器
分 类 号：TN248.4]
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