期刊文章详细信息
一种TFT-LCD Vertical Block Mura的研究与改善
Research and Improvement about Vertical Block Mura in TFT-LCD Process
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]北京京东方光电科技有限公司,北京100176
基 金:北京市科委科技计划资助项目(No.D0306006000091)
年 份:2007
卷 号:22
期 号:4
起止页码:433-439
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EBSCO、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)以及其他显示器件产品中,Mura是一种比较常见的不良现象,它可以直接影响到产品的画面品质。文章结合生产工艺的实际情况,采用MM,CD,EPM,SEM,FIB等检测设备,对一种Vertical Block Mura进行了大量的实验测试、数据分析和理论研究工作,特别是对其产生的原因创新性地提出了两种方向上的理论观点。通过加强设备科学管理监控,减小耦合电容效应等一系列改善措施,产品质量得到了很大程度的提升,Vertical Block Mura从改善前的26.1%降到了1.3%,从而使Vertical Block Mura得以改善,很大程度地提高了产品的品质,并为今后相关问题的进一步研究和解决奠定了一定的理论基础。
关 键 词:TFT-LCD Mura 抖动 耦合电容 画面品质
分 类 号:TN873.93]
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引证文献:
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