期刊文章详细信息
起偏器对激光外差干涉非线性误差的影响 ( EI收录)
Effect of Nonlinearity by the Polarizer in Laser Heterodyne Interferometric
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学航天学院通信工程系,黑龙江哈尔滨150001
年 份:2007
卷 号:18
期 号:4
起止页码:460-462
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:20072410652490)、SCOPUS、核心刊
摘 要:根据外差干涉非线性误差的产生机理,建立了起偏器放置误差和相位延迟误差对非线性误差影响的理论模型,分别分析了起偏器放置误差和相位延迟误差对非线性误差的影响。仿真结果表明,起偏器放置误差引起的非线性误差为二次谐波,起偏器相位延迟偏离π/2会引起激光束的椭圆偏振化,引起一次谐波非线性误差,严重影响非线性误差的大小。当起偏器相位延迟误差为5°时,引起的非线性误差一次谐波达到4.40 nm。
关 键 词:激光外差干涉 非线性误差 起偏器 纳米测量
分 类 号:TN247]
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