文献类型：期刊文章

作　　者：吕良[1] 邓中亮[1] 刘玉德[2] 连美霞[3]

机构地区：[1]北京邮电大学自动化学院,北京100876 [2]北京工商大学机械自动化学院,北京100037 [3]机械工程信息研究院,北京100037

出　　处：《北京工商大学学报（自然科学版）》

基　　金：北京市教育委员会科技发展计划资助项目(KM200610011003)

年　　份：2007

卷　　号：25

期　　号：4

起止页码：18-22

语　　种：中文

收录情况：CAS、FSTA、INSPEC、普通刊

摘　　要：随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景.本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题.最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨.

关 键 词：汽车传感器 MEMS技术 智能传感器系统

分 类 号：TP212.6]