文献类型：期刊文章

作　　者：贾书海[1] 孔维军[1] 杨佳[1]

机构地区：[1]西安交通大学理学院光信息科学与技术系,西安710049

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家自然科学基金(10477015);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(NCET-05-0843);陕西省科技攻关计划(2004K05-G14);西安市科技攻关计划(GG05042)资助课题

年　　份：2007

卷　　号：27

期　　号：8

起止页码：1494-1497

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20073810818473)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种基于菲涅耳衍射微透镜的新型光学加速度传感器,它能够解决导航系统中惯性传感器普遍存在的抗电磁干扰和电磁冲击能力差等缺陷。其传感原理是把一个反光膜平行地置于衍射微透镜的后方,加速度的变化会改变反光膜的位置,根据微透镜前方会聚点处光强的变化,感知加速度的大小。介绍了传感器及其动力学系统的工作原理,并对衍射微透镜和动力学系统的微弹性机械结构进行了设计和加工,最后对传感器的性能和误差进行了分析。原理验证性实验的结果表明这种新型光学加速度传感器的原理正确,并且结构简单,灵敏度高。

关 键 词：光纤光学 光学加速度传感器  微机电系统 菲涅耳衍射微透镜  

分 类 号：TP212.14]