期刊文章详细信息
一种微型泵的设计
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]湖北生物科技职业学院计算机系,湖北武汉430070
年 份：2007
期 号：24
起止页码：23-24
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：设计了一种可灵活应用于微量分析系统的微型泵,详细分析了其结构和工作原理,说明了主要的制造工艺,并给出了它在精密化学分析中的应用实例,最后总结了它的优缺点。该微型泵采用硅微细加工技术制作,使用了电磁制动无阀式结构的设计方案,并使用双向驱动方式提高效率。该微型泵具有可靠性高、寿命长、体积小、成本低等优点,充分满足了分析系统小型化、利于批量生产和降低成本的要求。
关 键 词：微机电系统 微执行器 微型泵
分 类 号：TN912.34]
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