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基于介观压阻效应的硅微加速度计研究
Silicon Micro-Accelerometers Based on Meso-Piezoresistance
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中北大学微米纳米技术研究中心,太原030051
基 金：国家自然科学基金资助(50405025;50375050)
年 份：2007
卷 号：20
期 号：8
起止页码：1771-1774
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计,通过理论分析计算与试验测试,得出该结构在0.1gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性,为此类加速度计的设计提供参考.
关 键 词：加速度计 灵敏度 介观压阻效应 共振隧穿
分 类 号：TN306]
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