文献类型：期刊文章

作　　者：张正平[1] 王松[1] 薛涛[1] 秦水介[2]

机构地区：[1]贵州大学通信工程系,贵阳550025 [2]贵州大学光电子技术及应用省级重点实验室,贵阳550025

出　　处：《低温物理学报》

基　　金：国家自然科学基金(60666001;60471050);贵州省优秀青年科技人才培养计划(黔科合人字(2002)2013);贵州省高层次人才基金;省长基金(黔科教办200304);教育部基金资助的课题~~

年　　份：2007

卷　　号：29

期　　号：3

起止页码：163-166

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文提出在高真空镀膜系统中通过化学气相沉积(CVD)的方法沉积高纯度的先驱B膜,再经过后退火工艺,Mg扩散进入先驱膜而反应生成了MgB2超导薄膜.经过多种实验方法检测,这种薄膜具有较为优异的超导性能,是一种和传统微电子工艺兼容、适宜于工业化大规模生产MgB2超导薄膜的方法.

关 键 词：MGB2 超导薄膜 CVD 后退火  

分 类 号：O511.3[材料类]