文献类型：期刊文章

作　　者：张德银[1] 黄大贵[1] 李金华[2] 李坤[2] 但迪迪[2] 董政[1]

机构地区：[1]电子科技大学机电工程学院 [2]江苏工业学院功能材料实验室,江苏常州213016

出　　处：《红外与毫米波学报》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60572007);中国民航飞行学院科研基金资助项目(J2005-25)

年　　份：2007

卷　　号：26

期　　号：3

起止页码：170-173

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI(收录号：20073110727005)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000248063300003)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000248063300003)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用溶胶凝胶法在ITO衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,利用XRD、SEM和AFM对薄膜的晶向、表面形态等作了表征;研究了不同溶剂对LiTaO3溶胶稳定性的影响和不同退火条件对LiTaO3薄膜结晶的影响;利用Al/LiTaO3/ITO结构,测试了薄膜的介电系数和介电损耗.结果表明:每层薄膜都晶化退火比交替使用焦化、结晶退火能生长出质量更好的LiTaO3薄膜;频率1KHz时,介电损耗约0.4,相对介电系数约53.并讨论了介电损耗增大的原因.

关 键 词：钽酸锂薄膜  ITO衬底  退火条件  介电特性

分 类 号：TN215]