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期刊文章详细信息

光子作用所形成的硅锗合金的多孔结构及其发光特性    

EMISSION PROPERTIES OF POROUS STRUCTURE ON SiGe FILM BY IRRADIATION OF LASER

  

文献类型:期刊文章

作  者:吴克跃[1] 黄伟其[1] 刘世荣[1] 秦朝建[2] 蔡绍洪[1]

机构地区:[1]贵州大学理学院光信息物理实验室,贵州贵阳550025 [2]中国科学院地球化学研究所,贵州贵阳550003

出  处:《贵州科学》

基  金:国家自然科学基金资助项目

年  份:2007

卷  号:25

期  号:2

起止页码:13-16

语  种:中文

收录情况:普通刊

摘  要:将功率为75W、波长为1064nm的YAG激光的散焦束斑辐照在SiGe合金表面上能够形成多孔硅锗结构,其硅纳晶和锗纳晶的尺寸和形貌有自身的特点.用514nm激光激发,在600nm到900nm波长范围有较强的光致荧光.与化学刻蚀方式生成的多孔硅锗样品相比较,其荧光发光的频谱分布较复杂.当激光辐照到锗纳晶颗粒较多的地方,荧光发光谱分布延伸至红外区域.文中分析了发光的机理,检测出光致荧光的增强与氧化硅表面无关,主要来自硅纳晶和锗纳晶的表面态.指出了激光辐照方式加工样品的优点.

关 键 词:激光辐照 多孔硅锗  光致荧光

分 类 号:O472.3] O432.12[物理学类]

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同被引文献:

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