期刊文章详细信息
光子作用所形成的硅锗合金的多孔结构及其发光特性
EMISSION PROPERTIES OF POROUS STRUCTURE ON SiGe FILM BY IRRADIATION OF LASER
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]贵州大学理学院光信息物理实验室,贵州贵阳550025 [2]中国科学院地球化学研究所,贵州贵阳550003
基 金:国家自然科学基金资助项目
年 份:2007
卷 号:25
期 号:2
起止页码:13-16
语 种:中文
收录情况:普通刊
摘 要:将功率为75W、波长为1064nm的YAG激光的散焦束斑辐照在SiGe合金表面上能够形成多孔硅锗结构,其硅纳晶和锗纳晶的尺寸和形貌有自身的特点.用514nm激光激发,在600nm到900nm波长范围有较强的光致荧光.与化学刻蚀方式生成的多孔硅锗样品相比较,其荧光发光的频谱分布较复杂.当激光辐照到锗纳晶颗粒较多的地方,荧光发光谱分布延伸至红外区域.文中分析了发光的机理,检测出光致荧光的增强与氧化硅表面无关,主要来自硅纳晶和锗纳晶的表面态.指出了激光辐照方式加工样品的优点.
关 键 词:激光辐照 多孔硅锗 光致荧光
分 类 号:O472.3] O432.12[物理学类]
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