文献类型：期刊文章

作　　者：张广安[1] 吴志国[1] 王明旭[1] 范晓彦[1] 王君[1] 闫鹏勋[1]

机构地区：[1]兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃兰州730000

出　　处：《摩擦学学报》

基　　金：甘肃兰州理工大学有色金属新材料国家重点实验室(培育基地)开放课题资助(SKL04001);国家自然科学基金资助项目(60376039)

年　　份：2007

卷　　号：27

期　　号：3

起止页码：204-209

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20072810698094)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用柱状靶磁控溅射系统制备Al/AlN纳米多层膜,采用纳米压痕仪测量Al/AlN纳米多层膜的纳米硬度,在UMT-2M型摩擦磨损试验机上评价其摩擦磨损性能.结果表明:当AlN层较厚时,薄膜在很短时间内被磨穿;调节Al/AlN层厚比为2.9/1.1时,薄膜的摩擦磨损性能明显提高;当保持Al/AlN层厚比为2.9/1.1、变化多层膜的调制周期时,薄膜的摩擦系数较低,但硬度较低的薄膜由于承载能力不够,不能够保持优良的摩擦磨损性能.

关 键 词：磁控溅射 Al/AlN多层膜  摩擦磨损性能

分 类 号：TH117.3]