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低能离子束沉积类金刚石膜的结构及性能研究 ( EI收录)
The Study on Morphologies and Structures of Diamond Film Synthesized on Cemented Carbide Substrates
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川联合大学原子核科学技术研究所 [2]四川省化学工业总公司
年 份：1997
卷 号：28
期 号：1
起止页码：84-88
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：研究了利用低能离子束技术，在单晶硅片等多种基体表面形成类金刚石薄膜（ＤＬＣ膜）。利用透射电镜、Ｘ射线光电子能谱及拉曼光谱等分析手段对该膜进行了显微结构分析，发现类金刚石膜是含有金刚石及其它碳相的混合碳膜。对该膜性能测试表明，该膜类似金刚石的性能，其光学、电学、机械及化学性质优异。探讨了类金刚石膜生长的机理。
关 键 词：离子束沉积 金刚石 显微结构 薄膜
分 类 号：TN304.055] TN304.18
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