文献类型：期刊文章

作　　者：曹先安[1] 陈溪滢[1] 李喆深[1] 苏润洲[2] 丁训民[1] 侯晓远[1] 钱峰[3] 姚晓峨[3] 陈效建[3]

机构地区：[1]复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433 [2]东北林业大学物理系,哈尔滨150040 [3]南京电子器件研究所,南京210016

出　　处：《Journal of Semiconductors》

基　　金：国家教委跨世纪人才基金;国家杰出青年基金

年　　份：1997

卷　　号：18

期　　号：1

起止页码：76-80

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI(收录号：1997423797489)、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文采用了一种新的硫钝化方法处理GaAs／AlGaAs异质结台面型晶体管，大大改善了它的直流特性．并通过对其低温性能的研究和钝化过程的实时观测，证明了S2Cl2溶液能十分有效地改善GaAs的表面性质，从而降低了表面复合对器件性能的影响．这种钝化方法有可能发展成为GaAs器件制造中的一种实用钝化工艺．

关 键 词：硫钝化 砷化镓 HBT

分 类 号：TN304.23]