文献类型：期刊文章

作　　者：张碧云[1] 曲燕青[1] 谢红梅[1] 聂朝胤[1]

机构地区：[1]西南大学材料科学与工程学院,重庆400715

出　　处：《表面技术》

基　　金：重庆市自然科学基金(CSTC;2006BB4050);校发展基金(SWNUF2005001)

年　　份：2007

卷　　号：36

期　　号：3

起止页码：70-73

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量。总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、医学、航空等领域的应用状况。同时指出,随着DLC技术上的成熟,其必将在更多领域发挥越来越大的作用。

关 键 词：类金刚石 薄膜  制备  应用  沉积技术  

分 类 号：TQ153]