期刊文章详细信息
一种可实现薄膜厚度在线测量的方法 ( EI收录)
An optical method of online measurement for the thickness of thin films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连民族学院光电子技术研究所,大连116600 [2]辽宁师范大学物理系,大连116029
基 金：大连民族学院人才引进基金资助项目(20036205)
年 份：2007
卷 号：33
期 号：3
起止页码：447-449
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20072510663971)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍了一种测量固体薄膜厚度的光学方法。该方法具有测量速度快、可实现在线测量等特点。为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题，构造了一套软硬件实验系统，利用该系统进行实验的结果表明：在10～100μm厚度范围，测量误差小于10％，满足实际生产需要。
关 键 词：光学方法 薄膜厚度 在线测量
分 类 号：O439]
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