文献类型：期刊文章

作　　者：何飞[1] 程亚[1]

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室,上海201800

出　　处：《中国激光》

年　　份：2007

卷　　号：34

期　　号：5

起止页码：595-622

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20072510664518)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的。首先回顾了激光微加工和超短脉冲激光技术的发展历史,然后介绍超短脉冲激光与金属和介质材料相互作用的机制,接着阐述了飞秒激光直写、干涉和投影制备等各种加工方法的原理,重点讨论飞秒激光在三维光子器件集成、微流体芯片制备及其在生化传感方面的应用等,最后展望了飞秒激光微加工领域所面临的机遇和挑战,指出了未来的研究方向。

关 键 词：超快光学 飞秒激光 光与物质相互作用 微加工 集成光学 双光子聚合  微流体 纳米颗粒  

分 类 号：TN249]