文献类型：期刊文章

作　　者：胡杰[1] 孙东[2]

机构地区：[1]青岛大学机械系 [2]山东省经济技术开发中心

出　　处：《青岛大学学报（工程技术版）》

年　　份：1996

卷　　号：11

期　　号：4

起止页码：71-76

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：触针式表面粗糙度测量仪自发明以来至今，虽然基本测量原理没有多大变化，但近年来在高性能、多性能化以及降低价格，从一维测量到三维测量等方面有了很大的进步。为实现高速、高精度测量，在非接触测量方面，采用了老触针以及显微技术：例如，ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）扫描遂道显微镜、ＳＥＭ（ＳｗｅｅｐＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）扫措式电子显微镜、ＳＰＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）扫描式探针显微镜等。该技术发明时间虽不长，但各国学者，在多方面进行了大量研究，已开发了适用于超精微细表面的测量技术。

关 键 词：机械零件 表面粗糙度 形状测量  

分 类 号：TH161.1] TG84]