文献类型：期刊文章

作　　者：邢洁[1] 王明湘[1] 何健[2]

机构地区：[1]苏州大学电子信息学院微电子学系,江苏苏州215021 [2]飞索半导体中国有限公司,江苏苏州215021

出　　处：《半导体技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60406001)

年　　份：2007

卷　　号：32

期　　号：4

起止页码：349-353

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：静电放电峰值电流是基于荷电器件放电模型的放电测试装置中波形验证的关键指标。针对影响放电峰值电流的几个因素:测试探针长度、直径、形状和充电盘绝缘介电层的厚度,研究了这些参数变化对放电峰值电流的影响规律。根据研究结果可调整相应参数,保证荷电器件放电模型的测试装置符合测试标准。基于LRC放电电路的等效模型,实验结果给出了到满意的定量或定性解释。

关 键 词：静电放电 荷电器件放电模型  测试探针  LRC模型  

分 类 号：TN43]