文献类型：期刊文章

作　　者：李得天[1] 李正海[1] 郭美如[1] 成永军[1] 张涤新[1] 冯焱[1]

机构地区：[1]兰州物理研究所,兰州730000

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2007

卷　　号：27

期　　号：2

起止页码：92-96

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20072110614048)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa^10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。

关 键 词：超高真空 极高真空 校准装置 校准方法

分 类 号：TB77]