期刊文章详细信息
硅微型加速度传感器技术
Silicon Micro-acceleration Sensor Technologies
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中北大学微米纳米技术研究中心,山西太原030051
年 份：2007
期 号：3
起止页码：8-10
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式,包括压阻式、电容式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题,提出了一些解决关键问题的措施,并对目前两种新的微机理:共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。
关 键 词：加速度计 压阻 电容 隧道效应 共振隧穿 介观压阻效应
分 类 号：TP112]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
