文献类型：期刊文章

作　　者：张树生[1] 韩克江[2] 成健[1]

机构地区：[1]山东大学空间热科学研究中心,山东济南200061 [2]山东大学机械工程学院,山东济南255061

出　　处：《仪表技术与传感器》

年　　份：2007

期　　号：3

起止页码：4-6

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点,而且微流体与宏观流体流动特性不同,所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性。随着MEMS技术的发展,硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点。硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一。按其用途进行了分类,着重介绍了流体压力传感器、流量传感器和表层摩擦力传感器。分别从各种传感器的基本原理、性能、应用范围、优缺点及其所能达到的技术指标方面进行了描述。基于MEMS的硅微机械流体传感器具有广阔的前景。

关 键 词：MEMS 硅微机械流体传感器  基本原理  

分 类 号：TP212]