文献类型：期刊文章

作　　者：张佩峰[1] 郑小平[2,3] 贺德衍[1] 李廉[1]

机构地区：[1]兰州大学博士后流动站 [2]兰州城市学院电子信息科学与技术研究所 [3]兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州730070

出　　处：《中国科学（G辑）》

基　　金：国家自然科学基金(批准号:10574059);甘肃省自然科学基金(批准号:3ZSO42-B25-033);兰州交通大学"青蓝"计划基金;兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室开发基金(批准号:K040101);中国博士后科学基金(批准号:31411)资助项目

年　　份：2007

卷　　号：37

期　　号：1

起止页码：9-16

语　　种：中文

收录情况：CSCD、CSCD2011_2012、普通刊

摘　　要：用Kinetic Monte Carlo方法研究了薄膜生长初期的表面形貌,对激活能的计算采用了更加通用、准确的算法,模型考虑了原子吸附、迁移、脱附、蒸发原子返回基底,二体运动等多种机理,根据模型编写了相应的软件,利用计算机图形学的原理对薄膜的表面形态进行了三维立体成像,并通过模拟发现,在低温和高温时薄膜的早期成核和表面形貌完全不同,薄膜后续的生长与早期成核有很大的关系.微观机理主要受原子的热运动影响,温度决定扩散能力,入射率决定扩散时间.

关 键 词：薄膜  初期  表面形貌 模拟  KMC  

分 类 号：O484.1]