期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]南京信息工程大学物理系,南京210044 [2]中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥230029
基 金:南京信息工程大学科研基金资助课题(QD65)
年 份:2007
卷 号:19
期 号:1
起止页码:134-138
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:20071610558143)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:成功研制了测量绝缘体二次电子发射系数的测量装置,该装置主要由栅控电子枪系统、真空系统和电子采集系统组成,测量装置产生的原电子流的能量范围为0.8~60keV。采用单脉冲电子枪法,测量了原电子能量范围为0.8~45keV的多晶MgO的二次电子发射系数。测量中,收集极(偏置盒)离材料表面设置为约35mm,偏置电压设置为45V。测量得到:用磁控溅射法制备的MgO的二次电子发射系数最大值约为2.83,处于2~26范围内,其对应的原电子能量约为980eV。这表明该装置测量的绝缘体二次电子发射系数是可信的,但用磁控溅射法制备的MgO的二次电子发射系数较低,这可能是制备MgO时引入了过多的杂质在MgO二次电子发射体里面所引起的。
关 键 词:测量装置 绝缘体 二次电子发射系数 氧化镁
分 类 号:O462.2]
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