文献类型：期刊文章

作　　者：王婧[1] 刘恒彪[1] 李同保[1]

机构地区：[1]同济大学理学部,上海200092

出　　处：《光学学报》

基　　金：教育部留学回国人员科研启动基金(教外司留[2005]383号)资助项目

年　　份：2007

卷　　号：27

期　　号：2

起止页码：259-264

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20071610557576)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：角度散斑相关是一种不受表面粗糙度轮廓的间距特性影响的粗糙度幅度参量测量方法,它的数学模型通常建立在集平均的基础上。通过模拟计算随机粗糙表面的远场散斑场,以散斑图面上的空间平均代替常规的集平均来计算角度散斑相关系数,并应用集平均的数学模型反演粗糙度参量。结果证实了这种空间平均角度散斑相关粗糙度测量方法的有效性,在同一表面只需对少数个区域进行测量并对测得的粗糙度参量取平均,即可获得足够的测量精度。对于Rq大于2.0μm的表面,测量相对误差小于15%。根据最佳测量条件,该方法适用于大粗糙度表面。

关 键 词：光学测量 表面粗糙度 激光散斑 角度散斑相关方法  空间平均  散射场模拟  

分 类 号：TH741]