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Kalrez全氟弹性体系列专题讲座(五) Kalrez在半导体工业中的应用
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]广州机械科学研究院密封研究所,广东广州510700
年 份：2007
卷 号：34
期 号：2
起止页码：1-6
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：半导体的加工过程对工程技术人员分别提出了耐热、耐化学介质、超纯净等方面的要求,不同的Kalrez密封件可满足这些要求。该文介绍了不同Kalrez胶料的性能及其在半导体工业中的选择原则,概述了Kalrez胶料在半导体工业常用化学介质中的性能。
关 键 词：全氟弹性体 半导体 耐化学介质
分 类 号：TQ333.93]
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