期刊文章详细信息
超精密工作台控制方案的优化选择
The control method optimum selection of ultraprecision stage
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津大学机械学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津300072
年 份：2007
期 号：1
起止页码：124-127
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：采用直线电动机加气浮导轨模式搭建大行程纳米级分辨率的超精密工作台,并建立超精密工作台进给系统的数学模型。通过计算机仿真分别分析单位反馈PID控制、带加速度前馈的PID控制、位置速度双环反馈和Sm ith预估控制等控制模式在不同材料做导轨时的控制指标。在控制系统选择上采用层次分析法建立综合评价体系,通过分析、计算、比较,确定位置环、速度环的双环反馈控制为本工作台最佳控制方案。
关 键 词：超精密工作台 PID控制 双环反馈 层次分析法
分 类 号：TH16]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
