文献类型：期刊文章

作　　者：孙潇[1] 贾书海[1] 朱军[2] 李以贵[2]

机构地区：[1]西安交通大学理学院光信息科学与技术系,西安710049 [2]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030

出　　处：《Journal of Semiconductors》

基　　金：微米纳米加工技术国家重点实验室基金(批准号:51485030105JW0801);教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-05-0843);国家自然科学基金(批准号:10477015)资助项目~~

年　　份：2007

卷　　号：28

期　　号：1

起止页码：113-116

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI(收录号：20071210503606)、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：描述了三种新型MEMS微针的结构设计及制备方法.针对微针的实际使用要求,对微针的固体力学性质及微通道内液体的流动情况进行了理论分析和数值模拟.结果表明,所设计的三种微针的强度可以保证安全地进行皮肤注射,且适于进行药剂的微量传输.

关 键 词：微电子机械系统 微针 药物传输  有限元

分 类 号：TN402]