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ESD电热模拟分析
Analysis of ESD Electrothermal Simulation
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安电子科技大学微电子学院,西安710071 [2]中国电子科技集团公司第五研究所分析中心,广州510610
基 金：国家预研项目(51308040108)
年 份：2007
卷 号：32
期 号：1
起止页码：77-81
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：在分析ESD失效机制的基础上,介绍了目前热击穿的研究情况,指出器件失效前所承受的功率与时间的关系对于研究热击穿的重要性;然后介绍了几个关于失效功率的热模型,分析了相关ESD模拟软件工具,提出一套有效的ESD模拟方法。
关 键 词：静电放电 电热模拟 瞬间崩溃
分 类 号：TN406]
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