文献类型：期刊文章

作　　者：刘文元[1] 李驰麟[1] 傅正文[1]

机构地区：[1]复旦大学化学系激光化学研究所

出　　处：《物理化学学报》

基　　金：国家自然科学基金(20203006)资助项目

年　　份：2006

卷　　号：22

期　　号：11

起止页码：1413-1418

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、IC、INSPEC、JST、PUBMED、RCCSE、RSC、SCI(收录号：WOS:000242290000021)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000242290000021)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜．采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响．结果表明,LiPON薄膜在湿度为40％的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加．LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化．

关 键 词：LiPON薄膜  薄膜电解质  磁控溅射 全同态薄膜锂电池  

分 类 号：O484.4]