文献类型：期刊文章

作　　者：万尤宝[1,2] 张建新[2] 袁国祥[2] 杨培志[3] 杨辉[1]

机构地区：[1]浙江大学材料与化工学院,浙江杭州300200 [2]嘉兴学院先进材料研究所,浙江嘉兴314001 [3]云南昆明物理研究所,云南昆明650223

出　　处：《纳米科技》

基　　金：国防“973”重大项目,浙江省自然科学基金,嘉兴市重点科技计划和归国留学人员基金

年　　份：2006

卷　　号：3

期　　号：5

起止页码：34-38

语　　种：中文

收录情况：内刊、普通刊

摘　　要：在LaAlO3（001）、MgO（001）、SrTiO3（001）衬底以及SrTiO3（001）／PZT（001）种膜上用液相外延方法生长了PZNT薄膜。生长结果表明：在LaAlO3（001）基片PZNT晶粒以三维岛状自发生长。薄膜中有大量的焦绿石异相；在MgO（001）和SrlriO3（001）衬底上，为三维岛状异质外延生长。薄膜中焦绿石异相几乎消失；引入[001]取向的PZT种膜后，岛状三维生长变为二维生长，显著改善了外延膜的质量，获得了完整的PZNT膜。分析了衬底取向对紧邻层纳米尺寸范围的晶粒形成、薄膜晶粒的发育、克服薄膜中异相形成等的影响，总结了获得完整PZNT薄膜的生长条件。

关 键 词：铁电薄膜 晶粒 种膜  液相外延

分 类 号：O782]