期刊文章详细信息
基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制
Study on optical film thickness monitoring system by wideband spectrum based on LabVIEW
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]广州市光机电工程研究开发中心广东省现代控制与光机电技术公共实验室,广东广州510635
年 份：2006
卷 号：28
期 号：5
起止页码：66-70
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了一种基于LabV IEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言(LabV IEW)在此系统中的应用;监控系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜的光谱特性检测。
关 键 词：光学薄膜 宽光谱 膜厚监控 光谱特性 LABVIEW
分 类 号：O484.5]
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