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期刊文章详细信息

基于DBR理论的半导体晶圆厂生产作业控制    

Production Control in Wafer Fabrication Based on DBR Theory

  

文献类型:期刊文章

作  者:郭永辉[1] 钱省三[2]

机构地区:[1]郑州航空工业管理学院工业工程系,郑州450015 [2]上海理工大学微电子发展研究中心,上海200093

出  处:《工业工程与管理》

基  金:上海市重点学科资助项目(T0502);高校博士点基金项目(20050252008)

年  份:2006

卷  号:11

期  号:5

起止页码:70-75

语  种:中文

收录情况:INSPEC、JST、RCCSE、RWSKHX、ZGKJHX、普通刊

摘  要:通过设置回流缓冲,修正了传统的DBR(Drum-Buffer-Rope)理论,提出了一套适合带回流生产线的生产安排方法。结合Little’s Law与约束理论(TOC),设置了更合理的瓶颈缓冲、回流缓冲以及出货缓冲大小。针对瓶颈设备生产安排中产生的负荷堆积情况进行推平,并进一步提出减少瓶颈资源闲置现象的方法,以增加系统产出。算例结果也充分说明了方法的有效性。

关 键 词:DBR理论  晶圆制造 回流  缓冲设置  生产控制  

分 类 号:TP278]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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