文献类型：期刊文章

作　　者：季一勤[1] 刘华松[1] 张艳敏[1]

机构地区：[1]天津津航技术物理研究所,天津300192

出　　处：《红外与激光工程》

年　　份：2006

卷　　号：35

期　　号：5

起止页码：513-518

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20070210353462)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：光学薄膜常数—折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础,通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度。Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜,研究了两种透射光谱法计算光学薄膜常数的精度,利用Lambda900分光光度计获得了Ta2O5薄膜样品的透过率光谱数据,采用透射光谱包络线法对单层Ta2O5薄膜样品的光学常数进行计算,得到的折射率和消光系数较为准确,并且认为所得到的消光系数为广义消光系数,对精确地测试、计算提出了建议,为不同薄膜样品的制备奠定了技术基础。

关 键 词：光学常数 测试分析 透射光谱 拟合  

分 类 号：O484.5]