文献类型：期刊文章

作　　者：李得天[1] 郭美如[1] 葛敏[2] 张周焕[2] 王占忠[2] 刘波[2] 杨新民[2]

机构地区：[1]兰州物理研究所,兰州730000 [2]西安航天计量测试研究所,西安710100

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2006

卷　　号：26

期　　号：5

起止页码：358-362

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20070110339352)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.7×10-6Pa,漏率校准范围为10-5Pa.m3/s^10-11Pa.m3/s,合成标准不确定度为1.4%~4.2%。

关 键 词：真空漏孔 校准装置 固定流导法 四极质谱计

分 类 号：TB77]