文献类型：期刊文章

作　　者：张娜[1,2] 褚金奎[1,2] 赵开春[1,2] 孟凡涛[1,2]

机构地区：[1]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116024 [2]大连理工大学微系统研究中心,大连116024

出　　处：《传感技术学报》

基　　金：国家重点基础研究发展计划项目(2006CB300407);教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-04-0266)

年　　份：2006

卷　　号：19

期　　号：05A

起止页码：1739-1743

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所设计的光栅与传统金属光栅不同之处在于基底和光栅之间增加了氟化镁介质,在垂直入射条件下,TM偏振透射率及消光比都增大.在0.38μm^0.40μm及0.50μm^0.76μm全光波段内,TM偏振透射率都大于50%,消光比都大于170,达到了宽带宽、TM偏振透射率及透射消光比都较高的要求.

关 键 词：二元光学 亚波长光栅 严格耦合波分析  金属光栅偏振器  

分 类 号：TP212.1] O436.3]