文献类型：期刊文章

作　　者：洪剑寒[1] 王鸿博[1] 魏取福[1] 高卫东[1]

机构地区：[1]江南大学生态纺织科学与技术教育部重点实验室,江苏无锡214122

出　　处：《纺织学报》

基　　金：教育部科学技术研究重点项目资助(106089)

年　　份：2006

卷　　号：27

期　　号：9

起止页码：14-17

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在室温条件下,采用磁控溅射法在PET纺粘非织造布上制备了纳米Ag薄膜,用原子力扫描显微镜(AFM)分析溅射功率、溅射真空室气压等工艺参数对纳米Ag薄膜结晶状态、粒径的影响;研究了溅射工艺参数与薄膜导电性能之间的关系。实验结果表明,在室温下,随着溅射功率增加,纳米Ag薄膜Ag粒子尺寸增大,功率为120 W时,薄膜导电性能最好;随着反应气体压强增加,Ag粒子直径变小,薄膜的导电性能变差。

关 键 词：磁控溅射 纳米结构  AFM Ag薄膜  导电性能

分 类 号：TS174]