文献类型：期刊文章

作　　者：郭永辉[1] 邵志芳[2] 钱省三[3]

机构地区：[1]郑州航空工业管理学院工业工程系,郑州450005 [2]同济大学经济管理学院,上海200092 [3]上海理工大学微电子发展研究中心,上海200093

出　　处：《半导体技术》

基　　金：高校博士点基金项目(20050252008);上海市重点学科资助项目(T0502)

年　　份：2006

卷　　号：31

期　　号：9

起止页码：645-649

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为克服传统投料策略的缺点,满足晶圆厂追求多个生产指标的需求,提出基于生产线平衡的动态投料策略思想,并从追求负荷平稳的角度,给出了多重入晶圆生产线平衡的新定义。在全局性信息确定方面,将黄光区作为瓶颈区域,炉管区与离子注入区作为次瓶颈区域分别加以控制。从稳定系统负荷和保证系统产出两个目的着手,提出了负荷平衡投料策略(RRLB),给出了相应地公式与算法。进一步的仿真实验验证了该策略的有效性。

关 键 词：多重入  动态投料策略  生产线平衡  晶圆

分 类 号：TP278]