文献类型：期刊文章

作　　者：王少伟[1] 李明[2] 夏长生[1] 王海千[2] 陈效双[1] 陆卫[1]

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083 [2]合肥微尺度物质科学国家实验室(筹)中国科学技术大学-Shincron联合实验室中国科学技术大学,安徽合肥230026

出　　处：《光学仪器》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60508018);上海市青年科技启明星计划资助项目(05QMX1459);973资助项目(2001CB6104)

年　　份：2006

卷　　号：28

期　　号：4

起止页码：124-128

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：为实现集成滤光片列阵在单片衬底上的高效制备,提出组合镀膜法,通过磁控反应溅射,以N b2O5和S iO2为介质材料,仅通过8次镀膜就成功制备出了集成64通道的滤光片面阵。滤光片面阵的总体尺寸只有12mm×12mm,各个滤光片通道基本呈线性分布在720.5nm^877.2nm之间,带宽在1.82nm^3.92nm之间。结果表明,组合镀膜法是一种高效的集成滤光片列阵制备方法。

关 键 词：组合  镀膜 集成  滤光片 列阵

分 类 号：TN256]