文献类型：期刊文章

作　　者：马修水[1] 费业泰[2] 陈晓怀[2] 李桂华[3] 权继平[3]

机构地区：[1]浙江大学宁波理工学院,浙江宁波315100 [2]合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009 [3]安徽大学测量与控制工程系,安徽合肥230039

出　　处：《制造技术与机床》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(编号:50275047);安徽省重点实验基金资助项目;安徽省教育厅自然科学基金资助项目

年　　份：2006

期　　号：9

起止页码：69-72

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理,介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术。

关 键 词：光栅纳米测量  双光栅测量系统  炫耀光栅  误差修正技术  二次莫尔条纹  

分 类 号：TP274] TP212]