文献类型：期刊文章

作　　者：马胜歌[1] 姜翠宁[2]

机构地区：[1]深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心,深圳518029 [2]深圳新南亚技术开发有限公司,深圳518029

出　　处：《真空科学与技术学报》

基　　金：深圳市科技计划项目资金资助(No.2004-K1-117)

年　　份：2006

卷　　号：26

期　　号：4

起止页码：290-294

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20064410216068)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用自制的柱弧离子镀膜机,在不同硬度基体上制备了Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC多层复合膜。膜呈深黑色,反射率小于14%,亮度值L*小于43,沉积速率约为0.78μm/h,表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影响较大,基体越硬、膜层越厚,膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0.82μm的黑色硬质膜显微硬度Hv(25g)=3229,结合力为26.70 N。该设备和工艺已成功应用于工业生产。

关 键 词：黑色硬质膜  柱弧离子镀  TIC 多层膜

分 类 号：TB43]