文献类型：期刊文章

作　　者：陈荔群[1] 李成[1]

机构地区：[1]厦门大学物理系半导体光子学研究中心,厦门361005

出　　处：《Journal of Semiconductors》

基　　金：福建省青年科技人才创新基金(批准号:2004J021);回国留学人员基金;集成光电子学国家重点实验室;国家自然科学基金(批准号:60336010)资助项目~~

年　　份：2006

卷　　号：27

期　　号：8

起止页码：1476-1479

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI(收录号：20064010141029)、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：SiGe是间接带隙材料,吸收系数非常小,因而SiGe探测器在红外波段的量子效率很低.本文提出一种新型的探测器结构,即波导共振增强型光电探测器,该器件主要由两个介质布拉格反射镜和波导吸收区构成,器件尺寸较传统波导型探测器大为减小,吸收区的长度不受SiGe临界厚度的限制,实现了量子效率和响应速度的优化.本文在数值模拟的基础上,对器件结构进行了优化设计,结果表明7·6μm长的波导探测器可以得到20%以上的量子效率.

关 键 词：Si/SiGe波导共振增强型  探测器

分 类 号：TN36]