期刊文章详细信息
光声光谱法探测微量气体
Photoacoustic Spectroscopy Method for Trace Gas Detecting
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]复旦大学微电子系ASIC和系统国家重点实验室,上海200433
年 份：2006
卷 号：19
期 号：4
起止页码：1206-1211
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍光声光谱气体传感器的发展及应用意义,根据气体光声效应讨论了光声气体传感器的工作原理,详细分析了多种不同结构传感器的原理及优缺点。重点讨论了常用一维管状光声腔体的光声理论,并给出了数学模拟模型。根据国内外的研究现状,分析了光声气体探测系统的重难点以及可能的解决方法,并讨论了光声传感向MEMS方向发展的原因及意义。
关 键 词：光声光谱法 光声腔 气体探测 微机械技术
分 类 号：TP212.1]
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