期刊文章详细信息
旋转体自身驱动的硅微机械陀螺
Si Micromachined Gyroscope Driven by the Rotating Carrier
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京信息工程学院传感技术研究中心,北京100101
基 金：国家自然科学基金资助项目(60472011);北京市传感器重点实验室资助项目(4032010)
年 份：2006
卷 号：8
期 号：8
起止页码：23-27
语 种：中文
收录情况：JST、NSSD、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构(硅摆)的设计、制作与封装工艺,用仿真器测试了旋转体的角速率。模拟试验和性能测试表明,该陀螺结构原理正确,可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度,以及旋转体自身的角速度。
关 键 词：硅 各向异性腐蚀 角速度 仿真器
分 类 号：TP212.1]
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