文献类型：期刊文章

作　　者：王玉田[1,2] 庄岩[1,2] 江德生[1,2] 杨小平[1,2] 姜晓明[3] 武家杨[3] 修立松[3] 郑文莉[3]

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所 [2]国家光电子工艺中心 [3]中国科学院高能物理研究所

出　　处：《物理学报》

年　　份：1996

卷　　号：45

期　　号：10

起止页码：1709-1716

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCIE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：利用高精度的Ｘ射线双晶衍射和同步辐射散射对可用于半导体红外探测器的双势垒超晶格材料进行了研究，并运用Ｘ射线衍射动力学理论进行模拟计算，得到了与实验结果符合得很好的理论曲线．同时发现包络函数节点处的卫星峰对结构参数的变化极为灵敏．以此进行模拟计算，可准确地确定出样品的结构参数，厚度误差范围为±０１ｎｍ．

关 键 词：X射线衍射 双势垒 超晶格

分 类 号：O766.3]