文献类型：期刊文章

作　　者：李新南[1] 张明意[1]

机构地区：[1]中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,南京210042

出　　处：《光学技术》

年　　份：2006

卷　　号：32

期　　号：4

起止页码：514-517

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20063610101590)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进行分析,获得了子孔径之间的拼接参量,得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序,并完成了原理性实验。采用一台口径为100mm的移相干涉仪检测了两个样品,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果。样品的口径分别为100mm和91mm。对比检测结果表明,拼接检测与直接检测两种方法的RMS之差小于5nm。

关 键 词：大口径光学平面  子孔径拼接 光学检测

分 类 号：TH706[仪器类]