期刊文章详细信息
微波CVD法低温制备纳米金刚石薄膜
Low temperature synthesis of nanocrystalline diamond films deposited by microwave CVD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
基 金：湖北省科技厅攻关计划项目(2002AA105A02)
年 份：2006
卷 号：28
期 号：4
起止页码：57-61
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：利用甲醇和氢气的混合气体，用微波等离子体CVD方法在480℃下成功地在硅片表面制备出纳米金刚石薄膜，本文研究了甲醇浓度和沉积温度对金刚石膜形貌的影响．通过Raman光谱、原子力显微镜及扫描隧道显微镜对样品的晶粒尺寸及质量进行了表征．研究结果表明：通过提高甲醇浓度和降低沉积温度可以在直径为50mm的硅片表面沉积高质量的纳米金刚石薄膜，晶粒尺寸大约为10～20nm，并对低温下沉积高质量的纳米金刚石薄膜的机理进行了讨论．
关 键 词：纳米金刚石 微波 化学气相沉积 甲醇
分 类 号：O484.1]
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