期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室,甘肃兰州730000
基 金:表面工程技术国家级重点实验室基金(51418060305HT6007)资助
年 份:2006
卷 号:12
期 号:2
起止页码:68-74
语 种:中文
收录情况:ZGKJHX、普通刊
摘 要:薄膜应力对薄膜性能具有重要的影响。主要介绍了薄膜应力形成机理和应力实验的研究进展,并探讨了薄膜应力研究的发展趋势。通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改变薄膜的应力分布,提高薄膜的性能。
关 键 词:薄膜 应力 光学薄膜 模型
分 类 号:O484]
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