期刊文章详细信息
气相沉积技术的现状与发展
Current Situation and Development Trend of Vapor Deposition Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]承德信息工程技术学校理工系,河北承德067000 [2]北华航天工业学院材料工程系,河北廊坊065000 [3]亚新科美联<廊坊>制动系统有限公司,河北廊坊065000
年 份：2006
卷 号：16
期 号：3
起止页码：26-28
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文阐述了气相沉积技术的发展和应用,概括了此技术在我国的现状,分析并展望其未来的发展,还注意到了研究领域中的动向和趋势。
关 键 词：气相沉积 等离子 超硬覆层
分 类 号：TG174]
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