文献类型：期刊文章

作　　者：鲁占灵[1] 张兵临[1] 姚宁[1] 杨仕娥[1] 樊志琴[2]

机构地区：[1]郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 [2]河南工业大学数理系,郑州450052

出　　处：《材料导报》

基　　金：教育部科学技术研究重点项目(205091)

年　　份：2006

卷　　号：20

期　　号：6

起止页码：98-101

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：非晶碳薄膜由sp2和sp3杂化的碳原子组成。sp2和sp3碳原子的比例是决定非晶碳膜的结构和性能的重要参数。如何定量或定性地分析碳薄膜中sp2和sp3碳的含量一直是十分重要的问题。目前用来测定sp2和sp3碳及其比例的实验方法有13C核磁共振谱(NMR)、电子能量损失谱(EELS)、X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振谱、拉曼光谱(Raman)、红外光谱(IR)等。综述了这些测定方法及其特点。

关 键 词：非晶碳膜 sp^2碳  sp^3碳  检测方法  

分 类 号：O462.4]